榨汁網(wǎng)廠家同進告訴您濕式蝕刻的優(yōu)缺點
    低成本、高可靠性、高產(chǎn)能及優(yōu)越的蝕刻選擇比。但相對于干式蝕刻，除了無法定義較細(xì)的線寬外，濕式蝕刻仍有以下的缺點：1) 需花費較高成本的反應(yīng)溶液及去離子水；2) 化學(xué)藥品處理時人員所遭遇的安全問題；3) 光阻附著性問題；4) 氣泡形成及化學(xué)蝕刻液無法完全與晶圓表面接觸所造成的不完全及不均勻的蝕刻；5) 廢氣及潛在的爆炸性。
濕式蝕刻過程可分為三個步驟：1) 化學(xué)蝕刻液擴散至待蝕刻材料之表面；2) 蝕刻液與待蝕刻材料發(fā)生化學(xué)反應(yīng)； 3) 反應(yīng)后之產(chǎn)物從蝕刻材料之表面擴散至溶液中，并隨溶液排出   (3)。三個步驟中進行最慢者為速率控制步驟，也就是說該步驟的反應(yīng)速率即為整個反應(yīng)之速率。

    大部份的蝕刻過程包含了一個或多個化學(xué)反應(yīng)步驟，各種形態(tài)的反應(yīng)都有可能發(fā)生，但常遇到的反應(yīng)是將待蝕刻層表面先予以氧化，再將此氧化層溶解，并隨溶液排出，如此反復(fù)進行以達到蝕刻的效果。如蝕刻硅、鋁時即是利用此種化學(xué)反應(yīng)方式。